In der Halbleiterindustrie spielen Liquid-Flow-Prozesse, in denen eine Vielzahl verschiedener abrasiver, anhaftender und korrosiver Flüssigkeiten zum Einsatz kommen, eine bedeutende Rolle. Deren permanentes Monitoring sichert im Sinne eines kontinuierlichen Qualitätsmanagements die Prozessstabilität und Verfahrenssicherheit. Die berührungslos messenden SEMIFLOW Flow Meter sind auf Grundlage der spezifischen Bedürfnisse der Halbleiterindustrie entwickelt und gestaltet worden. Die Sensoren stehen interessierten Kunden jetzt weltweit über das SONOTEC Vertriebsnetzwerk zur Verfügung.
Mit der Entwicklung des hochmodernen und robusten Industriesensors SEMIFLOW mit innovativer Clamp-on Technologie zur Vermeidung von Verunreinigungen und Leckagen, steht SONOTEC jetzt weltweit in den Startlöchern für den Vertrieb. Mit dem Sensorkonzept zur berührungslosen Messung von Durchflussraten und Volumenströmen am Kunststoffschlauch bzw. -rohr gehören unerwünschte Systemausfallzeiten der Vergangenheit an. Der kompakte Sensoraufbau mit integrierter Elektronik ermöglicht die einfache Prozessintegration – auch in Form einer Nachrüstung in bestehende Prozessarchitekturen. Die SEMIFLOW Sensoren sind in verschiedenen Sensor- und Kanalgrößen für eine breite Palette von Schlauch- und Rohrgrößen erhältlich. Sie eignen sich perfekt für PFA-, PTFE- und andere Hartkunststoffrohre und -leitungen.
Praxiserprobte Technologie zur Anwendung in komplexen Prozessen der Halbleiterindustrie
Die Durchflussmessung von Flüssigkeiten spielt bei der Waferherstellung eine wichtige Rolle. In den applizierten Nassverfahren werden verschiedenste abrasive, anhaftende und korrosive Flüssigkeiten eingesetzt. Bei der nasschemischen Wafer-Reinigung im Single-Wafer- oder Batch-Reinigungsverfahren ist es beispielsweise entscheidend, den Durchfluss der Reinigungslösung zu überwachen. Im Falle einer Unter- bzw. Überdosierung sind zusätzliche Ressourcen erforderlich, da der Reinigungsprozess wiederholt werden muss. Im schlimmsten Fall werden die Wafer defekt oder unbrauchbar und es entsteht ein enormer Wertverlust. Eine präzise Durchflussmessung ist daher entscheidend für die effiziente Nutzung der Produktionsressourcen. Neben der Integration in Wafer-Reinigungsanlagen werden SEMIFLOW-Durchflussmesser auch erfolgreich in Lithographie- und Mischanlagen, Chemikalienversorgungssystemen und Slurry-Lines eingesetzt.