SEMIFLOW CO.65 | Clamp-On Flow Sensor

zur berührungslosen Durchflussmessung an harten Kunststoffschläuchen und -rohren

PRODUKTVORTEILE

  • Anwendungen an PFA- und anderen Schläuchen und Rohren aus Kunststoff
  • Clamp-on System zur kontaktlosen Messung von Durchflüssen von bis zu 400 l/min
  • Keine kostspieligen Prozessstörungen bei Sensoraustausch oder -nachrüstung
  • Gewährleistung hochgenauer Messungen
  • Anwendungen in explosionsgefährdeten Bereichen (ATEX/IECEx – Ex Zone 1)
  • Unterstützung aller gängigen Industrieschnittstellen

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Berührungsloser Flowmeter für hochreine Halbleiteranwendungen

Die Halbleiterindustrie ist durch eine Reihe von Prozessen gekennzeichnet, bei denen verschiedene abrasive, anhaftende, korrosive und ultrareine Flüssigkeiten Verwendung finden. Um die Stabilität und hohe Qualität dieser Prozesse zu gewährleisten, ist eine ständige Durchflussüberwachung von großer Bedeutung.

SEMIFLOW Sensoren: bestens für die Anwendung in der Halbleiterindustrie geeignet

  • Hochpräzise Durchfluss- und Volumenmessung
  • Innovativer berührungsloser Clamp-on Mechanismus zur Vermeidung von Kontamination und Leckagen
  • Kein Anlagenstillstand bei Sensoraustausch oder -nachrüstung
  • Kompakter Sensor mit integrierter Elektronik für ein einfaches Handling
  • Feste Installation oder bei Bedarf schnelles Umsetzen 
  • Spezielles Sensorpaket zur Anwendung in explosionsgefährdeten Bereichen der Zone 1 nach ATEX/IECEx


SEMIFLOW CO.65 Sensoren zur Durchflussüberwachung - Wichtige Produktmerkmale

Exzellente Messleistungen

  • Echtzeitmessung des momentanen Flusses und Volumenzählung
  • Zuverlässige Durchflussmessung bis zu 400 l/min
  • Genauigkeit von +/- 2%

Technische Eigenschaften des Sensors

  • Kunststoffgehäuse (PVC-C) und Kunststoffstoßverbinder (PA)
  • Schraubdeckel und flexibles Inlay für die optimale Kopplung zwischen Schlauch und Messzelle

Plug & Play-Einsatz von Sensor & Schläuchen

  • Integrierte Elektronik und Auswerteeinheit
  • 8 individuelle Sensorgrößen (¼", 3/8", ½", (¾"), 1", 1 ¼“, 40A, 50A OD) für eine breite Auswahl an Schlauchgrößen
  • Perfekt geeignet für PFA- und andere harte Kunststoffschläuche und -rohre

Einfache Systemimplementierung

  • Einfache Integration in existierende SPS- und Pumpensysteme über die RS485 Schnittstelle
  • Optionale SONOFLOW® C³ | Software für einen anwenderfreundlichen Sensorbetrieb und individuelle Einstellungsmöglichkeiten

Nützliches SEMIFLOW Zubehör

SONOFLOW® C3 | SOFTWARE

Die SONOFLOW® C³ | Software vereint innovatives Smart-Sensoring mit anwenderfreundlicher Usability. Die neue Software gewährleistet eine einfache Bedienung der SEMIFLOW Sensoren in Bezug auf die

  • Anwendung der Sensoren
  • Anpassung der Sensoren

Weitere Informationen

SONOFLOW® RD.10 | REMOTE DISPLAY

Das SONOFLOW® RD.10 | Remote Display ist die nutzerfreundliche Ergänzung aller SEMIFLOW Sensoren. Das zusätzliche Display lässt sich einfach mit dem Sensor verbinden und ermöglicht die

  • Permanente oder vorübergehenden Datenanalyse
  • Nullpunktkalibrierung und Volumen-Resets

Weiter Informationen

Anwendungen

  • Anlagen zur Waferreinigung
  • Lithografieanlagen
  • Mischanlagen
  • Chemikalienversorgungssysteme
  • Slurry Line

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Mandy Reber

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