Durchflussmessung & Luftblasenerkennung in der Halbleiterindustrie

Berührungslose Durchflusssensoren & Luftblasendetektoren für die Halbleiterindustrie

In der Halbleiterindustrie spielen die kompakten Ultraschallsensoren von SONOTEC bei der Herstellung von Wafern eine große Rolle. Hier kommen in unterschiedlichen Prozessen des Nassverfahrens eine Vielzahl von abrasiven, anhaftenden und korrosiven Flüssigkeiten zum Einsatz. Die Sensoren haben dabei den enormen Vorteil, dass ihre Messung nicht-invasiv und nicht-intrusiv erfolgt und damit sowohl für die Durchflussmessung als auch für die Luftblasendetektion optimal geeignet sind.

Durchflussmessung in der Halbleiterindustrie

Wird eine Reinigungslösung zu niedrig oder zu hoch dosiert, werden zusätzliche Ressourcen notwendig, da der Reinigungsprozess wiederholt werden muss. Im ungünstigsten Fall werden die zu reinigenden Halbleiterscheiben unbrauchbar und ein bedeutender Wertverlust ist die Folge. Eine exakte Durchflussmessung ist daher entscheidend für eine effiziente Nutzung der Produktionsmittel.

SEMIFLOW CO.65 Durchflusssensor für die Halbleiterindustrie

SEMIFLOW CO.65 Durchflusssensor
... hochgenaue berührungslose Durchflusssensoren zur Anwendung an harten Kunststoffschläuchen und -rohren

Luftblasendetektion in der Halbleiterindustrie

Das Vorhandensein von Luftblasen in kritischen Prozessabläufen kann weitreichende Auswirkungen auf die Herstellung von Halbleiterscheiben haben. Bei der Verwendung von Fotolacken kann das Auftreten von Luftblasen zu einem Defekt der Wafer führen; beim Einsatz von Prozesskühlwasser zu einer Unterbrechung der Produktionsprozesse. Eine rechtzeitige Detektion von Luftblasen ist somit ausschlaggebend für das Erreichen der Produktionsziele.

SONOCHECK ABD06 industrieller Luftblasensensor

SONOCHECK ABD06 Luftblasensensor
... präzise Detektion von Luftblasen von bis zu 1/3 des Innendurchmessers von Kunststoffschläuchen

Vorteile der nicht-invasiven Messung

  • Berührungslose und kontaminationsfreie Überwachung der Prozesse
  • Einsetzbar für eine Vielzahl an Medien
  • Einfaches Einlegen des Schlauches
  • Problemlose Nachrüstung der Anlagen
  • Keine Ausfallzeiten der Maschinen bei Sensorwechseln
  • Kein Leckagerisiko
  • Kein Verschleiß
  • Gesteigerte und verlässlichere Produktivität der Anlagen und damit eine gesteigerte Ausbeute

Anwendungen

  • Anlagen zur Waferreinigung
  • Lithografieanlagen
  • Mischanlagen
  • Chemikalienversorgungssysteme
  • Slurry Line

Andere Anwendungsbereiche

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Mandy Reber

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Mandy Reber

+49 (0)345 / 133 17-832
mandy.reber@sonotec.de

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