Zur 50. Auflage des European CMP & WET Users Group Meetings trifft sich die Branche am 23. und 24. April 2026 in Halle (Saale). SONOTEC präsentiert sich zur Jubiläumsveranstaltung als Co-Organisator und richtet die Abendveranstaltung aus.
Vom 23. bis 24. April 2026 findet das 50. European CMP & WET Users Group Meeting in Halle (Saale) statt. SONOTEC verstärkt sein Engagement für die Veranstaltung und übernimmt die Rolle als Co-Organisator, die regelmäßig ein anderes Industrieunternehmen inne hat. Der Spezialist für Ultraschall Durchflusssensoren präsentiert sich während der Konferenzveranstaltung als Aussteller und Referent und richtet zusätzlich das Netzwerkdinner am Abend des 23. April 2026 an seinem Firmensitz in Halle (Saale) aus.
Während der Konferenzveranstaltung präsentiert SONOTEC seine SEMIFLOW Sensorfamilie, die speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Zusammen mit den industriellen SONOCHECK Luftblasendetektoren können die kompakten SEMIFLOW Durchflusssensoren in verschiedenen Prozessschritten der Waferherstellung und -bearbeitung eingesetzt werden.
Beim European CMP & WET Users Group Meeting werden aktuelle Themen rund um das chemisch-mechanische Planarisieren / Polieren (CMP) in der Halbleiterindustrie besprochen. Das Meeting ist der ideale Ort für CMP-Experten, um Innovationen, Technologien, neue Anwendungen, Messtechnik, Prozesssteuerung und vieles mehr im Fachkreis zu diskutieren.
„Der Halbleitermarkt ist ein hochdynamisches und anspruchsvolles Umfeld mit einer stetig wachsenden Nachfrage nach leistungsfähigen Technologien. Veranstaltungen wie das European CMP & WET Users Group Meeting fördern den Austausch und helfen, unsere SEMIFLOW Durchflusssensoren an aktuelle Marktanforderungen anzupassen. Durch gezielte Investitionen in Forschung und Entwicklung, strategische Partnerschaften sowie unsere Innovationsfähigkeit konnten wir uns eine führende Position als Anbieter für Ultraschallmesstechnik in der Halbleiterindustrie erarbeiten“, erklärt Anika Baumhauer, Internationale Strategie- und Vertriebsmanagerin bei SONOTEC.
SONOTEC hat mit der SEMIFLOW Serie kompakte und robuste Durchflusssensoren entwickelt, die den Transfer von Chemikalien und anderen Flüssigkeiten innerhalb einer Fab und einzelner Prozessschritte effizient erfassen und überwachen. Die Sensoren kommen beispielsweise bei der Messung der Slurry-Zufuhr in CMP-Anwendungen sowie bei der Überwachung des Durchflussvolumens in Ätzprozessen innerhalb von Wet-Bench-Linien zum Einsatz. Dank der Clamp-On Technologie erfolgt die Messung von Durchflussrate und Volumen berührungslos von außen an branchentypischen starren Kunststoffrohren und - leitungen, wodurch das Risiko von Kontaminationen oder Leckagen vollständig ausgeschlossen wird.
Das robuste Sensormaterial gewährleistet eine lange Lebensdauer der Produkte. Darüber hinaus überzeugen die SEMIFLOW Sensoren durch ein kompaktes Gehäuse mit integrierter Elektronik. Sie beanspruchen nur wenig Platz in der Anlage und lassen sich unkompliziert in bestehende Prozessketten und Architekturen einbinden. SONOTEC bietet die SEMIFLOW Serie in unterschiedlichen Größen an, sodass ein breites Spektrum an Durchmessern von PFA-, PTFE- sowie anderen starren Kunststoffrohren abgedeckt wird.
Für die Durchflussmessung in explosionsgefährdeten Umgebungen bietet SONOTEC die SEMIFLOW CO.66 PI Ex1 Sensorserie an. Die eigensicheren Ultraschall Durchflussmesser sind für den sicheren Betrieb in Produktionsbereichen der Ex Zone 1 nach ATEX/IECEx ausgelegt. Die Sensoren sind gegen Explosionsgefahren durch Gase und Dämpfe nach den Normen der Gasgruppe IIB geschützt; der Geräteschutzgrad (EPL) ist „Gb“.
Treffen Sie SONOTEC am 23. und 24. April 2026 zum 50. European CMP & WET Users Group Meeting im DORMERO Konferenzzentrums in Halle (Saale).