SONOTEC erstmalig als Aussteller auf der SEMICON West

Vom 7. bis 9. Oktober 2025 findet in Phoenix, USA, die SEMICON West statt. Im German Pavillon präsentiert SONOTEC erstmalig auf der weltweit bedeutendsten Messe der Halbleiterindustrie Ultraschallsensoren zur berührungslosen Durchflussmessung von Flüssigkeiten.

Als Aussteller im German Pavillon feiert SONOTEC in diesem Herbst Premiere auf der SEMICON West in Phoenix, USA. Am Stand #1261-14 präsentiert der Ultraschallspezialist seine hochgenauen Durchflusssensoren und Luftblasendetektoren, die speziell für die hohen Anforderungen in der Halbleiterfertigung konzipiert sind. Die kompakten und robusten Sensoren der SEMIFLOW-Serie überwachen und messen den Transfer, die Verteilung sowie die Füllstände von Chemikalien und anderen Flüssigkeiten innerhalb der Fab unkompliziert und effizient. Dank der berührungslosen Clamp-On Architektur besteht kein Risiko von Kontamination oder Leckagen. Daher eignen sich die Ultraschallsensoren für hochsensible Halbleiterfertigungsprozesse, die höchste Genauigkeit und Prozessstabilität erfordern.

„In den nasschemischen Prozessen der Halbleiterindustrie stellen insbesondere der Einsatz von Reinigungschemikalien sowie Reinstwasser eine der größten Verbrauchskostenfaktoren dar. Daher ist die Echtzeitüberwachung der Durchflussrate dieser Medien entscheidend für die Stabilität kritischer Prozessparameter und beeinflusst sowohl die Produktqualität als auch den Ertrag. Durch die kontaktlose Messung werden darüber hinaus kostspielige Verunreinigungen und Ausfallzeiten vermieden“, erläutert Anika Baumhauer, Internationale Strategie- und Vertriebsmanagerin bei SONOTEC.

SEMIFLOW-Sensoren messen zuverlässig abrasive, anhaftende, korrosive und ultrareine Flüssigkeiten auf branchenspezifischen starren Kunststoffrohren und -leitungen. Das berührungslose Messverfahren ist verschleißfrei und die Clamp-On Ultraschallsensoren somit wartungsfrei.

Das robuste Sensormaterial ermöglicht einen langen Produktlebenszyklus. Der minimale Stromverbrauch sorgt für niedrige Betriebskosten. So können die berührungslosen Durchflussmesser zu Nachhaltigkeitsstrategien in der Fab beitragen. Die SEMIFLOW-Sensoren zeichnen sich außerdem durch ihr kompaktes Gehäusedesign mit integrierter Elektronik aus. Sie benötigen wenig Platz in der Anlage und lassen sich leicht in bestehende Prozessketten und Architekturen integrieren. SONOTEC bietet die SEMIFLOW-Serie in verschiedenen Größen an, um ein umfassendes Spektrum an Durchmessern von PFA-, PTFE- und anderen harten Kunststoffrohren abzudecken.

Für die Anwendung in explosionsgefährdeten Umgebungen gibt es die SEMIFLOW CO.66 PI Ex1-Sensorserie. Die eigensicheren Durchflussmesser sind für den sicheren Betrieb in Produktionsbereichen der Zone 1 nach ATEX/IECEx ausgelegt. Die Sensoren sind gegen Explosionsgefahren durch Gase und Dämpfe nach den Normen der Gasgruppe IIB geschützt; der Geräteschutzgrad (EPL) ist „Gb“.

Treffen Sie SONOTEC vom 7. bis 9. Oktober 2025 am Stand #1261-14 im German Pavillon auf der SEMICON West in Phoenix, USA.